冷场发射扫描电镜-SEM
型号规格：Regulus 8100
购买日期：2021-05-25
设备分类：工艺实验设备
设备小类：加工工艺实验设备
制造厂商：日立
设备产地：日本
仪器状态：内外部共享
设备原值：249.98万
实验地址：东莞市松山湖国际创新创业社区C1栋
服务价格(元/每小时)：600
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检测技术服务
无-无,无-无,无-无
仪器可预约以下服务
样品加工
功能描述
主要用于工艺过程中，光刻、刻蚀等工艺监控及表面微区的成分分析。
技术指标
1. Regulus8100冷场发射扫描电镜配备加速电压减速功能，具有优秀的低加速电压成像能力，1kV分辨率可达0.8nm，15kV达到0.7nm，高低电压均可满足高分辨的观察。
2. 放大倍数范围为20-1000K倍。
3. 最大兼容4英寸样品。
上机要求
无
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