电感耦合等离子体化学气相沉积ICPCVD
型号规格：Oxford plasma pro 100
购买日期：2020-10-28
设备分类：工艺实验设备
设备小类：加工工艺实验设备
制造厂商：牛津
设备产地：英国
仪器状态：内外部共享
设备原值：292万
实验地址：东莞市松山湖国际创新创业社区C1栋
服务价格(元/每小时)：1000
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检测技术服务
无-无,无-无,无-无
仪器可预约以下服务
样品加工
功能描述
技术指标：
1）样品尺寸：8"及以下
2）温度：2种控温方式；table控温最高400℃；chiller 控温 最高80℃
3）射频功率：最高3000W
4）process gas：SiH4、N2O、NH3、N2、O2、He、Ar
5) clean gas: SF6 、O2
6)均匀性：≤±5%
技术指标
1.样品尺寸：8"及以下兼容
2.可生长工艺： SiO2 、 SiNx、α - Si（工艺应力±300Mpa 可调）
3.可做低温（80℃/100℃）和高温（250℃/300℃）工艺。
上机要求
无
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