金属沉积电子束蒸发台
型号规格：ei-501z
购买日期：1900-01-01
设备分类：工艺实验设备
设备小类：加工工艺实验设备
制造厂商：青岛益嘉元科贸有限公司
设备产地：中国
仪器状态：内外部共享
设备原值：0万
实验地址：东莞市松山湖大学创新城A1栋
服务价格：面议
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检测技术服务
无
仪器可预约以下服务
是
功能描述
1.利用高能电子将坩埚中靶材蒸发，然后沉积在基板上；
2.主要用于蒸发Ti、Al、Ni、Cr、Cu、Au，Pt等金属薄膜，蒸发速率0.1A/s-20A/s可调；
3、同时配备热蒸发模块
技术指标
极限真空：3x10-5Pa；基片最高加热温度350℃；均匀性≤±5%
上机要求
是
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