成像型椭偏仪
型号规格：AccurionNanofilm_EP4SE
购买日期：1900-01-01
设备分类：分析仪器
设备小类：光谱仪器
制造厂商：无
设备产地：中国
仪器状态：内外部共享
设备原值：0万
实验地址：东莞市松山湖大学创新城A1栋
服务价格：面议
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检测技术服务
无
仪器可预约以下服务
是
功能描述
利用椭偏技术，测量分析薄膜的厚度、折射率、介电常数等
技术指标
纵向分辨率：0.1 nm
纵向测量范围：1μm
视场：70 μm-2mm
放大倍率：400X-5000X
折射率测量精度：±0.005
上机要求
是
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