金属膜溅射台
型号规格：SP800
购买日期：1900-01-01
设备分类：工艺实验设备
设备小类：加工工艺实验设备
制造厂商：三河市衡岳真空设备有限公司
设备产地：中国
仪器状态：内外部共享
设备原值：0万
实验地址：东莞市松山湖大学创新城A1栋
服务价格：面议
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检测技术服务
无
仪器可预约以下服务
是
功能描述
1.主要用于溅射Ti、Al、Cr、Pt、Cu、TiW90、Pd、Pt、Mo、W、Ta、Ni、Au、Ag等多种金属及合金薄膜。
2.最大尺寸为8英寸,向下尺寸兼容，薄膜不均匀性≤±5%
技术指标
最高加热温度450℃，温度控制精度优于±4度；极限真空优于5E-7 torr
上机要求
是
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