半自动显影机
型号规格：EVG101D
购买日期：2020-12-01
设备分类：工艺实验设备
设备小类：加工工艺实验设备
制造厂商：EVG
设备产地：奥地利
仪器状态：内外部共享
设备原值：99万
实验地址：东莞市松山湖国际创新创业社区C1栋
服务价格(元/每小时)：600
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检测技术服务
无-无,无-无,无-无
仪器可预约以下服务
样品加工
功能描述
1、显影模式：spray & puddle；
2、样品尺寸：2、4、6寸；
3、显影均匀性：≤5%；
4、具备背洗功能。
技术指标
2、4、6寸样品的显影工艺，广泛应用于化合物半导体，MEMS器件制造，3D互联集成，微纳加工等科研和产业领域。
上机要求
无
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