减薄机
型号规格：WG-1211S
购买日期：1900-01-01
设备分类：工艺实验设备
设备小类：加工工艺实验设备
制造厂商：北京中电科电子装备有限公司
设备产地：中国
仪器状态：内外部共享
设备原值：0万
实验地址：东莞市松山湖大学创新城A1栋
服务价格：面议
- 仪器详情
- 服务评价
检测技术服务
无
仪器可预约以下服务
是
功能描述
主要用于常见的衬底的减薄工艺，主要包括Si，GaAs，Ge等衬底类型
技术指标
片内均匀性≤5微米；片间均匀性≤5微米；Z轴分辨率0.1微米；最大兼容6英寸，可以减薄至100μm左右
上机要求
否
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