022 X射线光电子能谱表面分析平台（XPS）
型号规格：ESCALAB Xi+
购买日期：2019-01-01
设备分类：分析仪器
设备小类：X射线仪器
制造厂商：ThermoFisher
设备产地：美国
仪器状态：内外部共享
设备原值：580万
实验地址：东莞市松山湖国际创新创业社区C1栋松山湖材料实验室
服务价格(元/每小时)：800
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检测技术服务
无
仪器可预约以下服务
提供委托测试、项目合作、技术委托开发、定制服务等，欢迎来电咨询。
功能描述
主要用来观测材料表面元素的芯能级化学态，做定性及定量分析。具体功能包含但不限于如下方面：
1）深度剖析：Ar离子枪辅助刻蚀，观察材料纵向深度的结构元素信息；
2）紫外光电子能谱：得到非绝缘样品功函数，价带谱；
3）离子散射谱：可对材料表面1nm深度内做成分分析，对表面更加敏感；
4）背散射电子能量损失谱：确定样品表面H元素的含量，及能级结构；
5）角分辨XPS：无损得到样品表面约 10nm 深度内元素及其化学态随深度的分布信息；
6）原位实验：样品可加热最高温度至1000k，冷却最低温度至100k，对同一位置进行测试分析，Ar离子团簇/单离子可清洁表面。
技术指标
1）极限能量分辨率：0.43eV；
2）分析室真空度：优于5×10-10 mbar；
3）能量分析范围：0-1300eV；
4）通过能范围：不小于1-400eV；
5）线扫描最佳空间分辨率：<1μm。
上机要求
培训合格后可上机
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