台阶膜厚仪
型号规格：D-600
购买日期：2018-11-07
设备分类：物理性能测试仪器
设备小类：光电测量仪器
制造厂商：KLA-Tencor
设备产地：美国
仪器状态：内外部共享
设备原值：32.2万
实验地址：东莞市松山湖园区学府路1号7栋
服务价格：面议
- 仪器详情
- 服务评价
检测技术服务
无
仪器可预约以下服务
占用共享，委托共享
功能描述
可精确测量纳米级至2毫米台阶高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波纹度、应力，集高测量精度、多功能性和经济性于一体。
技术指标
最佳垂直分辨率：0.38A
最大垂直测量范围：1200μm
最大正压力：0.03mg
最大采样点数：20.0000
上机要求
培训合格后可上机
- 全部(0)
- 好评(0)
- 中评(0)
- 差评(0)
