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样品测试、分析检测、技术咨询 注： 点扫：60元/元素 刻蚀：100元/5nm 价带谱：80元/样 俄歇谱：80元/元素 UPS：400/样 角分辨：300/转角 其他测试按时间收费：1500/小时

X射线光电子能谱技术（XPS）是电子材料与元器件显微分析中的一种先进分析技术，而且是和俄歇电子能谱技术（AES）常常配合使用的分析技术。由于它可以比俄歇电子能谱技术更准确地测量原子的内层电子束缚能及其化学位移，所以它不但为化学研究提供分子结构和原子价态方面的信息，还能为电子材料研究提供各种化合物的元素组成和含量、 化学状态、分子结构、化学键方面的信息。它在分析电子材料时，不但可提供总体方面的化学信息，还能给出表面、微小区域和深度分布方面的信息。 另外，因为入射到样品表面的X射线束是一种光子束，所以对样品的破坏性非常小。

构成：分析室由真空腔及抽气系统组成，真空腔为纯μ金属制造 半径不大于150mm 通过能范围应不小于1～400eV,并可连续调节，调节步长不大于1eV 同时配有多电子倍增器和128通道二维微通道板探测器，可同时记录光电子信号强度和成像信息 光源功率不大于300W，以免对样品产生损伤 微聚焦单色化AlX射线源，束斑尺寸可在20μm--900μm之间连续可调，调节步长小于10μm 配有同轴反射电子能量损失谱（REELS），可满足对氢元素的定性定量分析 对于干净的银样品，等能量分辨率为0.5eV时，灵敏度应不低于1000kcps IPES电子束能分辨率：≤0.3eV(FWHM) 配置双束中和系统，同时具有电子中和和离子中和功能

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