全自动高精度椭圆偏振光谱仪
型号规格：ELLIP-SR-II型(科研型)
购买日期：2011-12-20
设备分类：分析仪器
设备小类：光谱仪器
制造厂商：上海光明企业发展有限公司
设备产地：中国
仪器状态：内外部共享
设备原值：21万
实验地址：东莞理工学院计算机楼
服务价格：面议
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检测技术服务
无
仪器可预约以下服务
薄膜制备
功能描述
1. 各种功能材料的光学常数测量和光谱学特性分析；2. 测量薄膜材料的折射率和厚度；测量对象包括：金属、半导体、超导体、绝缘体、非晶体、超晶格、磁性材料、薄膜材料、光电材料、非线性材料；测量光学常数：复折射率的实虚部、复介电常数的实虚部、吸收系数a、反射率R。
技术指标
波长范围：250-830nm；
光源：氙灯；
入射角范围20-90度；
入射角精度：0.001度；
波长分辨率：1.0nm；
椭偏参数精度：D±0.02度，Y±0.01度；
光学常数精度：优于0.5%；
膜厚准确度：±0.1nm。
上机要求
样品要求：样品尺寸：<10 cm；透明薄膜、非透明衬底（如Si）。
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