台阶仪
型号规格：DeKtakXT
购买日期：2016-12-09
设备分类：物理性能测试仪器
设备小类：颗粒度测量仪器
制造厂商：Bruker
设备产地：德国
仪器状态：内外部共享
设备原值：25.98万
实验地址：东莞理工学院电子楼
服务价格：面议
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检测技术服务
无
仪器可预约以下服务
薄膜台阶及厚度测试
功能描述
可进行二维表面粗糙度和台阶高度测量，三维表面成像和薄膜应力测试，在教育、科研和半导体制程控制领域，广泛用于膜厚、应力、表面粗糙度和面形的测量。
技术指标
探针作用力：1~15mg；
扫描长度范围：55mm（~2英寸）；
台阶高度重复性：<5Å；
垂直方向分辨率：高分辨率可达1Å（在6.55um测量范围内）。
上机要求
样品要求：非挥发性非腐蚀性薄膜材料。
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