金属-真空热蒸镀仪
型号规格：FS-300-S6
购买日期：2019-12-09
设备分类：工艺实验设备
设备小类：电子工艺实验设备
制造厂商：苏州方昇光电
设备产地：中国
仪器状态：内外部共享
设备原值：37.3万
实验地址：材料学院4B304
服务价格：面议
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检测技术服务
无
仪器可预约以下服务
面议
功能描述
蒸镀金属材料
技术指标
腔体漏率优于5×10-10 Pa m3 s-1；极限真空优于4×10-5 Pa。 6组蒸发源，均为水冷电极。膜厚仪InficonSQC-310C，速率测量显示精度优于0.01埃/s，厚度精度优于1埃/s。MCVAC石英晶振探头≤6 MHz。
上机要求
培训合格
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